以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究

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題名:	以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究
作者:	陳皇欽;林諭男;鄭秀鳳
貢獻者:	淡江大學物理學系
日期:	2006-11
上傳時間:	2014-06-24 10:00:27 (UTC+8)
出版者:	臺南市：成功大學
摘要:	本實驗利用微波電漿輔助化學氣相沈積法(MPECVD)成長3種不同尺寸(Grain size)的鑽石薄膜，並利用SEM來探討表面顆粒大小的差異，以Raman光譜來探討鑽石薄膜顆粒結晶大小的差異性，以解釋薄膜場發射特性的不同；分別製作約500-600nm、100-200nm和約30nm的鑽石薄膜，發現大小約500-600nm的鑽石薄膜顆粒結晶程度最好，但是以場發射的特性可以發現約30nm大小的鑽石薄膜有較好的電流密度，其次為100-200nm大小的鑽石薄膜，而擁有最好結晶性的500-600nm的鑽石薄膜卻是這三種薄膜裡場發射的電流密度最差的。
關聯:	2006年中國材料科學學會年會論文集，4頁
顯示於類別:	[物理學系暨研究所] 會議論文

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