硼摻雜之奈米鑽石薄膜的場發射特性研究

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Title:	硼摻雜之奈米鑽石薄膜的場發射特性研究
Authors:	林伯霖;林諭男;周義評;陳通;鄭秀鳳
Contributors:	淡江大學物理學系
Keywords:	化學汽相沈積改質;鑽石薄膜;電子場發射;Chemical vapor deposition modification;Diamond film;Electron field emission;UNCD
Date:	2006-11
Issue Date:	2014-06-24 10:00:19 (UTC+8)
Publisher:	臺南市：成功大學
Abstract:	本實驗利用微波引致電漿化學汽相沉積法(MPECVD)在矽(Si)基板上成長UNCD (Ultra-nano crystalline diamond)，陸續依比例參數通入所需摻雜的氣體(如硼(B)、甲烷(CH4)、氬氣(Ar))，在氬氣(Ar)和甲烷(CH4)流量比為99:1的電漿(Plasma)中，逐步將微波功率由500W提昇至750W來持續提供電漿(Plasma)能量，氣體總流量則由80 torr提昇至130 torr且維持於此，此外，本實驗在矽(Si)基板上所成核的形成層，則是使用BEN(Bias enhance nucleation)成核，在氣氛中，則是利用甲烷(CH4)做為沉積鑽石的碳源，以不同的成長參數(氣體比例、摻雜與否、磊晶時間)來控制奈米鑽石薄膜的沉積，針對不同的參數改變(摻雜氣體的氣體比例)，透過原子力顯微鏡(AFM)量測CITS，探討不同鑽石薄膜摻雜硼的成長參數對電子場發射特性的影響。
Relation:	2006年中國材料科學學會年會論文集，4頁
Appears in Collections:	[Graduate Institute & Department of Physics] Proceeding

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