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    題名: 智慧型微冷卻系統之感測與驅動技術開發(III)
    作者: 楊龍杰;王信雄;許竣為;楊伯強
    貢獻者: 淡江大學機械與機電工程學系
    關鍵詞: 金氧半標準製程;非平面電極;電動流力驅動;迴路式微熱管;CMOS;Nonplanar electrode;EHD pumping;MLHP
    日期: 2006-10
    上傳時間: 2014-03-07 11:51:45 (UTC+8)
    摘要: 本第三年計畫先完成CMOS共用壓力感測陣列晶片之測試,再嘗試開發非平面(如微圓管)之微管道感測與驅動電極之製程,改善微流道感測驅動的效率。另外研究在微流道內表面沾濕特性之控制,確認與表面特性相關之處理技術,在微冷卻系統內之液體驅動課題上變得重要。最後將本三年期開發之微機電感測與驅動技術,應用於一增益迴路式微熱管的導熱性能。
    The main object of this project (the third year) is to explore a CMOS pressure-sensing platform, the process of a novel nonplanar electrode embedded in a circular microchannel, the detailed mechanism of a EHD micropump. We also applied all the available MEMS techniques, explores in this project, to propose a modified design for a MLHP for performance enhancing.
    關聯: 2006熱流暨能源學門成果發表暨規劃會議論文集,4頁
    顯示於類別:[機械與機電工程學系暨研究所] 會議論文

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    智慧型微冷卻系統之感測與驅動技術開發(III)_中文摘要.docx摘要14KbMicrosoft Word107檢視/開啟
    智慧型微冷卻系統之感測與驅動技術開發(III)_英文摘要.docx摘要14KbMicrosoft Word114檢視/開啟

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