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    題名: 應用於微處理器之微冷卻器整合研究-微冷卻器之製程技術研究
    其他題名: The Research on the Semiconductor Processings of Micro-Coolers
    作者: 楊龍杰
    貢獻者: 淡江大學機械與機電工程學系
    關鍵詞: 單晶矽;微冷卻器;非等向性蝕刻;多孔矽;熱管;熱散;Single crystal silicon;Micro cooler;Anisotropic etching;Porous silicon;Heat pipe;Heat sink
    日期: 1999
    上傳時間: 2009-03-16 15:45:30 (UTC+8)
    顯示於類別:[機械與機電工程學系暨研究所] 研究報告

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