快速微影製作次微/奈米金屬模仁暨UV膠壓印成型研究

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题名:	快速微影製作次微/奈米金屬模仁暨UV膠壓印成型研究
其它题名:	Study on Fast Lithography for Fabricating Metallic Sub-Micro/Nano-Stamps and Forming of UV Resins Using Imprinting Method
作者:	林清彬
贡献者:	淡江大學機械與機電工程學系
日期:	2006
上传时间:	2009-03-16 15:52:58 (UTC+8)
摘要:	本研究在室溫下利用沉積一層相變化材料，接著使用飛秒雷射脈衝並以光熔化引發相變化技術進行快速微影，使非結晶區產生相轉變，以製得大面積結晶區之次微/奈米不同圖案陣列；此外並探討GST薄膜之厚度、均勻性及成份分析等性質。之後利用非結晶/結晶區之不同物理及化學性質，藉由選擇性蝕刻技術，直接製得微/奈米金屬模仁，在研究中應用田口實驗計劃法來降低蝕刻實驗次數，尋找出最佳化實驗參數及探討實驗因子對微/奈米金屬模仁表面粗糙度之影響，最後以壓印技術轉印出微/奈米圖案的高分子結構。
显示于类别:	[機械與機電工程學系暨研究所] 研究報告

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