應用於留置針型生醫感測系統之新型微液體驅動器(I)

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Title:	應用於留置針型生醫感測系統之新型微液體驅動器(I)
Other Titles:	The Novel Micro Pump Using in Implanted Biosensing System(I)
Authors:	楊龍杰
Contributors:	淡江大學機械與機電工程學系
Keywords:	微幫浦;留置針;生醫感測器;熱挫曲;微機電系統
Date:	2005
Issue Date:	2009-03-16 16:04:01 (UTC+8)
Abstract:	本二年期研究計畫「應用於留置針型生醫感測系統之新型微型液體驅動器」，計畫主持人基於先前參與過經濟部學界科專計畫「先進無線生醫保健監測系統之開發」的經驗，深感於生醫系統中液體驅動之迫切需求，故著手進行本新型液體驅動器微幫浦計畫之技術開發。本計畫擬使用淡江大學的「聚對二甲苯」（parylene）微機電低溫製程技術，製作新型微液體驅動器。致動原理擬採用「熱挫曲」方式，亦即加熱parylene 封閉式薄膜，在升溫數十度C 的範圍使之產生熱挫曲大變形，配合無閥式微流道的設計，進行微流道中液體的單向傳輸。第一年計畫，以實體研製「熱挫曲」「聚對二甲苯」新型微幫浦為研究目標，包括以下工作細節：parylene 熱挫曲式微幫浦之結構尺寸設計、parylene 薄膜熱挫曲理論與有限元素ANSYS 分析、parylene 熱挫曲式微幫浦之製程設計、以及微幫浦之驅動測試等。第二年計畫，預定發展高階之新型微幫浦整合技術，包括以下工作細節：探討多重微幫浦的串聯與並聯性能、探討parylene 熱挫曲式微幫浦之材料製程生醫相容性問題、將微機電溫度與壓力感測器加入微幫浦系統、將微幫浦上整合進入無線生醫傳輸晶片模組中、以及嘗試加入熱挫曲微閥等。
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