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    题名: 拋光墊平面修整加工研究
    其它题名: Research on Flat Dressing Process of Polishing Pads
    作者: 劉偉均;陳炤彰
    贡献者: 淡江大學機械與機電工程研究所
    关键词: 拋光墊;平面修整;Polishing pad;Flat dressing process
    日期: 2001
    上传时间: 2009-03-16 15:48:12 (UTC+8)
    显示于类别:[機械與機電工程學系暨研究所] 研究報告

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