奈米二氧化矽改質負型壓克力彩色光阻之製備

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Title:	奈米二氧化矽改質負型壓克力彩色光阻之製備
Other Titles:	Preparation of Nano-Silica Modified Negative Acrylate Color Resist
Authors:	張正良;鄭廖平
Contributors:	淡江大學化學工程與材料工程學系
Keywords:	顏料分散型彩色光阻;彩色濾光片;結合劑;溶膠－凝膠法;有機－無機混成
Date:	2007
Issue Date:	2009-03-16 15:09:33 (UTC+8)
Abstract:	本計畫擬研發新型顏料分散型彩色光阻，並應用於彩色濾光片之製程。首先是以自由基聚合法合成Poly(BZMA-MAA-2HEMA)共聚合壓克力樹脂作為光阻的結合劑，並量測酸價、黏度及熱性質；再以溶膠－凝膠法製作表面改質之SiO2 奈米粒子，並結合有機－無機混成之概念，將其導入高分子光阻系統中，此SiO2 粒子表面富含反應性之雙鍵，可與光阻中之感光性多官能基單體反應而達成奈米混成效果，最後再加入顏料分散液，即製備出顏料分散型彩色光阻。此改良型顏料分散型彩色光阻，預期將比傳統型顏料分散型彩色光阻具有更佳的密著性、硬度及耐熱性等。材料分析檢測則首先使用GPC 來鑑定結合劑分子量；以FTIR 分析光阻材料在製備過程中，相關官能基之變化情形；光學性質方面則將量測彩色光阻之色度座標及光穿透度；最後將材料進行TGA、DSC 及TMA 等熱分析的測試，以瞭解Td、Tg 及熱膨脹係數之改善程度。
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