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    題名: 奈米二氧化矽改質負型壓克力彩色光阻之製備
    其他題名: Preparation of Nano-Silica Modified Negative Acrylate Color Resist
    作者: 張正良;鄭廖平
    貢獻者: 淡江大學化學工程與材料工程學系
    關鍵詞: 顏料分散型彩色光阻;彩色濾光片;結合劑;溶膠-凝膠法;有機-無機混成
    日期: 2007
    上傳時間: 2009-03-16 15:09:33 (UTC+8)
    摘要: 本計畫擬研發新型顏料分散型彩色光阻,並應用於彩色濾光片之製 程。首先是以自由基聚合法合成Poly(BZMA-MAA-2HEMA)共聚合壓克力 樹脂作為光阻的結合劑,並量測酸價、黏度及熱性質;再以溶膠-凝膠法 製作表面改質之SiO2 奈米粒子,並結合有機-無機混成之概念,將其導入 高分子光阻系統中,此SiO2 粒子表面富含反應性之雙鍵,可與光阻中之感 光性多官能基單體反應而達成奈米混成效果,最後再加入顏料分散液,即 製備出顏料分散型彩色光阻。此改良型顏料分散型彩色光阻,預期將比傳 統型顏料分散型彩色光阻具有更佳的密著性、硬度及耐熱性等。材料分析 檢測則首先使用GPC 來鑑定結合劑分子量;以FTIR 分析光阻材料在製備 過程中,相關官能基之變化情形;光學性質方面則將量測彩色光阻之色度 座標及光穿透度;最後將材料進行TGA、DSC 及TMA 等熱分析的測試, 以瞭解Td、Tg 及熱膨脹係數之改善程度。
    顯示於類別:[化學工程與材料工程學系暨研究所] 研究報告

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