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化學工程與材料工程學系暨研究所
--研究報告
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Item 987654321/6916
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https://tkuir.lib.tku.edu.tw/dspace/handle/987654321/6916
題名:
奈米二氧化矽改質負型壓克力彩色光阻之製備
其他題名:
Preparation of Nano-Silica Modified Negative Acrylate Color Resist
作者:
張正良
;
鄭廖平
貢獻者:
淡江大學化學工程與材料工程學系
關鍵詞:
顏料分散型彩色光阻
;
彩色濾光片
;
結合劑
;
溶膠-凝膠法
;
有機-無機混成
日期:
2007
上傳時間:
2009-03-16 15:09:33 (UTC+8)
摘要:
本計畫擬研發新型顏料分散型彩色光阻,並應用於彩色濾光片之製 程。首先是以自由基聚合法合成Poly(BZMA-MAA-2HEMA)共聚合壓克力 樹脂作為光阻的結合劑,並量測酸價、黏度及熱性質;再以溶膠-凝膠法 製作表面改質之SiO2 奈米粒子,並結合有機-無機混成之概念,將其導入 高分子光阻系統中,此SiO2 粒子表面富含反應性之雙鍵,可與光阻中之感 光性多官能基單體反應而達成奈米混成效果,最後再加入顏料分散液,即 製備出顏料分散型彩色光阻。此改良型顏料分散型彩色光阻,預期將比傳 統型顏料分散型彩色光阻具有更佳的密著性、硬度及耐熱性等。材料分析 檢測則首先使用GPC 來鑑定結合劑分子量;以FTIR 分析光阻材料在製備 過程中,相關官能基之變化情形;光學性質方面則將量測彩色光阻之色度 座標及光穿透度;最後將材料進行TGA、DSC 及TMA 等熱分析的測試, 以瞭解Td、Tg 及熱膨脹係數之改善程度。
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[化學工程與材料工程學系暨研究所] 研究報告
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