III-V 半導體切割技術探討

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Title:	III-V 半導體切割技術探討
Authors:	陳孟群;陳貴榮;趙崇禮;賴志一;陳志明;譚子陵;江銘通
Contributors:	淡江大學機械與機電工程學系
Keywords:	劃線裂片;尖點劃線;砷化鎵;精密定位 Scribe/Break;Sharp pointed scribe;GaAs;Gallium arsenide;Precision positioning
Date:	2003-09
Issue Date:	2013-04-11 14:57:58 (UTC+8)
Publisher:	新竹縣：工業技術研究院機械與系統研究所
Relation:	機械工業=Journal of the Mechatronic Industry 246，頁205-222
Appears in Collections:	[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文

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