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    题名: III-V 半導體切割技術探討
    作者: 陳孟群;陳貴榮;趙崇禮;賴志一;陳志明;譚子陵;江銘通
    贡献者: 淡江大學機械與機電工程學系
    关键词: 劃線裂片;尖點劃線;砷化鎵;精密定位 Scribe/Break;Sharp pointed scribe;GaAs;Gallium arsenide;Precision positioning
    日期: 2003-09
    上传时间: 2013-04-11 14:57:58 (UTC+8)
    出版者: 新竹縣:工業技術研究院機械與系統研究所
    關聯: 機械工業=Journal of the Mechatronic Industry 246,頁205-222
    显示于类别:[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文

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