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    題名: 3D displacement measurement with pico-meter resolution using single heterodyne grating interferometry
    作者: Hsu, Cheng-chih;Lee, Ju-yi;Wu, C. C.;Shih, H.C.
    貢獻者: 淡江大學機械與機電工程學系
    關鍵詞: Diffracted Grating;Heterodyne Interferometry;Pico-Meter Resolution;Precision Metrology;Three-Dimensional
    日期: 2008-04
    上傳時間: 2011-10-20 21:34:46 (UTC+8)
    出版者: Trans Tech Publications
    關聯: Key Engineering Materials 381-382, pp.283-286
    DOI: 10.4028/www.scientific.net/KEM.381-382.283
    顯示於類別:[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文

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