熱機拋光鑽石膜之設備及方法

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Title:	熱機拋光鑽石膜之設備及方法
Authors:	趙崇禮;馬廣仁;林宏彜
Contributors:	淡江大學機械與機電工程學系
Date:	2005-02-01
Issue Date:	2011-05-20 15:35:57 (UTC+8)
Abstract:	一種熱機拋光鑽石膜之設備及方法，係可用以對一工件上的鑽石膜表面進行拋光，包括成軸向垂直配置且俱可高速轉動的第一轉軸與第二轉軸，其中，該第一轉軸係由可於高溫下與鑽石進行化學反應之過渡金屬或稀土族材料所製成，且其圓周表面上係定義有一預定加熱區，該第二轉軸則可朝該第一轉軸進行軸向移動，以令其一端軸向承載座上所承載之鑽石膜工件可與該第一轉軸上的預定加熱區接觸，並藉一加熱單元對該預定加熱區所進行之加熱，俾使該工件上之鑽石膜表面可於與該預定加熱區接觸時產生化學反應並進行鑽石移除之熱機拋光，進而達成提昇拋光速率與降低習知設備成本之功效。
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