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    Title: 消除硅晶片加工后表面残留应力的热处理装置
    Other Titles: 消除矽晶片加工後表面殘留應力的熱處理裝置
    Authors: 趙崇禮;张毅;林宏彝
    Contributors: 淡江大學機械與機電工程學系
    Date: 2000-02-09
    Issue Date: 2011-05-20 15:35:27 (UTC+8)
    Abstract: 一种消除硅晶片加工后表面残留应力的热处理装置,该装置包括有绝缘外层、晶片支撑盘、红外线光源及石英管,该绝缘外层上设有进气口及出气口,晶片支撑盘、红外线光源及石英管设置于绝缘外层内部,晶片支撑盘位于石英管内,红外线光源设于石英管上、下方;用此装置可利用热处理(退火)程序来去除硅晶片在加工过程中所产生的残留应力,用以取代传统加工过程中以化学腐蚀的方式来去除残留应力。
    一種消除矽晶片加工後表面殘留應力的熱處理裝置,該裝置包括有絕緣外層、晶片支撐盤、紅外線光源及石英管,該絕緣外層上設有進氣口及出氣口,晶片支撐盤、紅外線光源及石英管設置於絕緣外層內部,晶片支撐盤位於石英管內,紅外線光源設於石英管上、下方;用此裝置可利用熱處理(退火)程序來去除矽晶片在加工過程中所產生的殘留應力,用於取代傳統加工過程中以化學腐蝕的方式來去除殘留應力。
    Appears in Collections:[機械與機電工程學系暨研究所] 專利

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