磊晶薄膜的成長

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题名:	磊晶薄膜的成長
其它题名:	Epitaxial thin film growth
作者:	林明毅;Lin, Ming-yi
贡献者:	淡江大學物理學系碩士班林諭男;Lin, I-nan
关键词:	磊晶薄膜;Epitaxial
日期:	2010
上传时间:	2010-09-23 16:04:22 (UTC+8)
摘要:	本論文研究以脈衝雷射鍍膜(Pulsed Laser Deposition, PLD)去成長磊晶薄膜，再利用X光繞射儀(X-ray diffractometer)跟原子力顯微鏡（Atomic force microscope, AFM）去探討材料的結晶相跟薄膜表面形貌。先利用了多鐵材料BiMnO3成長去了解雷射鍍膜的過程跟探討影響薄膜成長的參數。再使用了脈衝雷射-分子束磊晶系統(Laser-MBE)，配合反射式高能電子繞射儀（Reflective high energy electron diffraction），去成長和控制La2/3Ca1/3MnO3之成長面，合成YBa2Cu3O7/La2/3Ca1/3MnO3的界面，包括(i) YBa2Cu3O7的”Cu-O面”接La2/3Ca1/3MnO3的”LaCa-O面”以及(ii) YBa2Cu3O7的”Ba-O面”跟La2/3Ca1/3MnO3的”Mn-O2面” 。 In this study , we used pulsed laser deposition (PLD) technique to synthesize the epitaxial thin films , which were characterized using X-ray diffractometry (XRD) and Atomic force microscopy(AFM). We first explored the effect of deposition parameters on the characteristics of Multiferroics , BiMnO3 so as to understand their correlation . We then used laser-MBE technique , in conjunction with the reflective high energy electron diffraction(RHEED) technique to synthesize YBa2Cu3O7 /La2/3Ca1/3MnO3 with specific interface.We successfully synthesized the YBCO/LCMO/SrTiO3 epitaxial thin films with two different kind of interfaces , viz (i) Cu-O(YBCO) interfaceing LaCo-O(LCMO) and (ii) Ba-O(YBCO) interfaceing Mn-O2(LCMO).
显示于类别:	[Graduate Institute & Department of Physics] Thesis

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