Surface and sub-surface characteristics of metal-bond / ELID and resin-bond diamond ground single crystal silicon

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题名:	Surface and sub-surface characteristics of metal-bond / ELID and resin-bond diamond ground single crystal silicon
作者:	Chao, C. L.;Ma, K. J.;Chien, H. H.;Lin, H. Y.
贡献者:	淡江大學機械與機電工程學系
日期:	2003-01
上传时间:	2010-03-26 20:09:29 (UTC+8)
出版者:	Tokyo, Japan: Universal Academy Press
關聯:	International progress on advanced optics and sensor, pp.155-162
显示于类别:	[機械與機電工程學系暨研究所] 專書之單篇

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