A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes

淡江大學機構典藏 > 工學院 > 機械與機電工程學系暨研究所 > 期刊論文 > Item 987654321/45724

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题名:	A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes
作者:	Lin, Wei-chih;Yang, Lung-jieh
贡献者:	淡江大學機械與機電工程學系
关键词:	Cantilever thickness control;Probe chips;Trenches;Wafer level;Wet etching;Atomic force microscopy;Cantilever beams;Gravitation;Methane;Probes;Silicon wafers;Thickness control;Etching
日期:	2005-05
上传时间:	2013-03-12 11:23:54 (UTC+8)
出版者:	Bristol: Institute of Physics Publishing Ltd.
關聯:	Journal of Micromechanics and Microengineering 15(5), pp.1049-1054
DOI:	10.1088/0960-1317/15/5/022
显示于类别:	[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文

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