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Item 987654321/45724
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https://tkuir.lib.tku.edu.tw/dspace/handle/987654321/45724
题名:
A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes
作者:
Lin, Wei-chih
;
Yang, Lung-jieh
贡献者:
淡江大學機械與機電工程學系
关键词:
Cantilever thickness control
;
Probe chips
;
Trenches
;
Wafer level
;
Wet etching
;
Atomic force microscopy
;
Cantilever beams
;
Gravitation
;
Methane
;
Probes
;
Silicon wafers
;
Thickness control
;
Etching
日期:
2005-05
上传时间:
2013-03-12 11:23:54 (UTC+8)
出版者:
Bristol: Institute of Physics Publishing Ltd.
關聯:
Journal of Micromechanics and Microengineering 15(5), pp.1049-1054
DOI:
10.1088/0960-1317/15/5/022
显示于类别:
[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文
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A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes.pdf
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