A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes

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題名:	A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes
作者:	Lin, Wei-chih;Yang, Lung-jieh
貢獻者:	淡江大學機械與機電工程學系
關鍵詞:	Cantilever thickness control;Probe chips;Trenches;Wafer level;Wet etching;Atomic force microscopy;Cantilever beams;Gravitation;Methane;Probes;Silicon wafers;Thickness control;Etching
日期:	2005-05
上傳時間:	2013-03-12 11:23:54 (UTC+8)
出版者:	Bristol: Institute of Physics Publishing Ltd.
關聯:	Journal of Micromechanics and Microengineering 15(5), pp.1049-1054
DOI:	10.1088/0960-1317/15/5/022
顯示於類別:	[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文

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