English  |  正體中文  |  简体中文  |  全文笔数/总笔数 : 57042/90725 (63%)
造访人次 : 12437994      在线人数 : 67
RC Version 7.0 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU Library & TKU Library IR team.
搜寻范围 查询小技巧:
  • 您可在西文检索词汇前后加上"双引号",以获取较精准的检索结果
  • 若欲以作者姓名搜寻,建议至进阶搜寻限定作者字段,可获得较完整数据
  • 进阶搜寻


    jsp.display-item.identifier=請使用永久網址來引用或連結此文件: http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/45724


    题名: A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes
    作者: Lin, Wei-chih;Yang, Lung-jieh
    贡献者: 淡江大學機械與機電工程學系
    关键词: Cantilever thickness control;Probe chips;Trenches;Wafer level;Wet etching;Atomic force microscopy;Cantilever beams;Gravitation;Methane;Probes;Silicon wafers;Thickness control;Etching
    日期: 2005-05
    上传时间: 2013-03-12 11:23:54 (UTC+8)
    出版者: Bristol: Institute of Physics Publishing Ltd.
    關聯: Journal of Micromechanics and Microengineering 15(5), pp.1049-1054
    DOI: 10.1088/0960-1317/15/5/022
    显示于类别:[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文

    文件中的档案:

    档案 大小格式浏览次数
    index.html0KbHTML220检视/开启

    在機構典藏中所有的数据项都受到原著作权保护.

    TAIR相关文章

    DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU Library & TKU Library IR teams. Copyright ©   - 回馈