固態加速度計簡介

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题名:	固態加速度計簡介
作者:	張培仁;呂學士;劉深淵;楊龍杰
贡献者:	淡江大學機械與機電工程學系
日期:	1996-04
上传时间:	2010-03-26 19:46:20 (UTC+8)
出版者:	機械月刊雜誌社
摘要:	所謂「固態加速度計」，舉凡以非傳統機械加工技術製作，尺寸在數毫米之內，而運作機制已超越機械專業範疇者皆是。因其尺寸遠小於傳統加速度計，或稱之「微型加速度計」。另因以矽晶圓製作該微型加速度計為時下大宗主流，故又稱「半導體加速度計」。在微機電系統之數種主要感測器中，固態加速度計以其與機械、力學之深厚淵源，成為許多機械專長背景人士加入微機電領域之頭一項研究課題。有鑑於固態感測器之微細加工技術大同小異，本文將偏重於介紹加速度計之運作原理與設計要旨，兼述國內在此方面可能之發展利機。
關聯:	電子月刊2(4)=9，頁59-62
显示于类别:	[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文

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