半導體微型感測器與非破壞性檢測

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題名:	半導體微型感測器與非破壞性檢測
作者:	楊龍杰;張培仁
貢獻者:	淡江大學機械與機電工程學系
日期:	1997-07
上傳時間:	2010-03-26 19:46:15 (UTC+8)
出版者:	機械月刊雜誌社
摘要:	小而美的微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術，近年來已廣受注目。其技術略分為感測器(sensor)與制動器(actuator)二大部分，而感測器之發展又早於制動器。事實上，在1980年代後期提出微機電系統、或微系統技術(Micro-System Technology) 等名稱之前，許多半導體感測器與微細加工之先期研究，均集中列入微電子的範疇; 此可由其文獻之出處面見一斑。本文即基於尋求跨技術互動與應用之動機，以半導體微型加速度計之製作為肇始，發現其可應用於非破壞性檢測之暫態彈性波法，使檢測之結果更為直接與準確。最後並回過頭來以非破壞性檢測之超音波法，監控矽質薄膜之厚度，提供體型微細加工另一種增益精度的途徑。
關聯:	電子月刊3(7)=24，頁145-151
顯示於類別:	[機械與機電工程學系暨研究所] 期刊論文

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