以聚對二甲苯微機電技術製作之熱挫曲式微型致動器

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Title:	以聚對二甲苯微機電技術製作之熱挫曲式微型致動器
Authors:	林岳正;林宏樺;王俊民;楊龍杰;Yang, Lung-jieh;林啟萬;楊燿州
Contributors:	淡江大學機械與機電工程學系
Keywords:	聚-對二甲苯;熱挫曲;無閥幫浦;致動器
Date:	2005-11
Issue Date:	2010-01-11 14:15:40 (UTC+8)
Abstract:	本研究利用parylene C材料具備之低溫製程特性，以在晶圓上鍍著一層parylene C高分子薄膜開始，並使用正光阻AZ4620作為結構犧牲層（sacrificial layer），搭配無閥幫浦構型設計，包覆以parylene C高分子薄膜為結構層，再配合埋入金屬加熱電阻於parylene C高分子薄膜夾層之間（上、下厚度分別為0.5微米及1微米），最後以丙酮溶除流道或致動薄膜結構層下的犧牲層光阻，製成parylene C熱挫曲致動式中空腔體結構（microchamber），並成功觀察到其推動流體的情況。本研究採用之熱致動驅動方式，乃是利用加熱電阻造成薄膜膨脹變形，當薄膜受應變而生之負載超過結構發生挫曲最小負載時，致使薄膜發生挫曲，衍生出大變形，而對所建構之空腔結構內液體產生推擠，使薄膜有致動液體之效果。成功製作之熱挫曲式致動器（thermo-buckled type actuator），預期應用於無閥微型幫浦的製備，進行生醫流體或藥物之輸送。
Relation:	第九屆奈米工程暨微系統技術研討會
Appears in Collections:	[Graduate Institute & Department of Mechanical and Electro-Mechanical Engineering] Proceeding

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