以聚-對二甲苯微機電技術製作之熱挫曲式微型致動器

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題名:	以聚-對二甲苯微機電技術製作之熱挫曲式微型致動器
其他題名:	The thermo-buckled type actuators fabricated by parylene MEMS technology
作者:	林宏樺;Lin, Hung-hua
貢獻者:	淡江大學機械與機電工程學系碩士班楊龍杰;Yang, Lung-jieh
關鍵詞:	聚-對二甲苯;熱挫曲;無閥幫浦;致動器;parylene;thermal-buckled;valve-less pump;actuator
日期:	2005
上傳時間:	2010-01-11 06:25:49 (UTC+8)
摘要:	本研究利用parylene C材料具備之低溫製程特性，以在晶圓上鍍著一層parylene C高分子薄膜開始，並使用正光阻AZ4620作為結構犧牲層（sacrificial layer），搭配無閥幫浦構型設計，包覆以parylene C高分子薄膜為結構層，再配合埋入金屬加熱電阻於parylene C高分子薄膜夾層之間（上、下厚度分別為0.5微米及1微米），最後以丙酮溶除流道或致動薄膜結構層下的犧牲層光阻，製成parylene C熱挫曲致動式中空腔體結構（microchamber），並成功觀察到其推動流體的情況。本研究採用之熱致動驅動方式，乃是利用加熱電阻造成薄膜膨脹變形，當薄膜受應變而生之負載超過結構發生挫曲最小負載時，致使薄膜發生挫曲，衍生出大變形，而對所建構之空腔結構內液體產生推擠，使薄膜有致動液體之效果。成功製作之熱挫曲式致動器（thermo-buckled type actuator），預期應用於無閥微型幫浦的製備，進行生醫流體或藥物之輸送。 According to the characteristics of parylene, this thesis describes a new type of parylene micropump using the principle of thermo buckling. We first deposit the 1st layer of parylene C on the substrate wafer. Then, we use the photoresist AZ4620 as the sacrificial layer with the flow channel design of valve-less pump, and we deposit the 2nd layer of parylene C as the structured layer of the flow channel wall as well as the actuation membrane. We insert the metal heating electrodes between parylene C layers with different thickness （0.5μm、1μm）. Finally, acetone is used to dissolve the photoresist sacrificial layer inside the parylene C structure, and fully fabricate the parylene C thermo-buckled type actuated microchamber structure. Besides, we successfully observe the actuation of the driving membrane subject to the fluid of DI water. The fabricated thermo-buckled type micropump can be integrated into the implantable biosensing system for microfludic driving, and drug delivery.
顯示於類別:	[機械與機電工程學系暨研究所] 學位論文

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