微結構基板製造方法

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题名:	微結構基板製造方法
其它题名:	METHOD FOR MICROSTRUCTURE SUBSTRATE MANUFACTURING
作者:	趙崇禮;馬廣仁;周文成
贡献者:	淡江大學機械與機電工程學系
日期:	2014-11
上传时间:	2015-03-03 02:28:32 (UTC+8)
摘要:	本發明提供一種微結構基板製造方法。此方法包含步驟有：提供模具，此模具具有洩液閥，而模具的上表面具有微結構；將溶膠液體注入模具，使溶膠液體淹沒微結構；提供基板，將基板浸入溶膠液體中；使基板由上而下定位於模具內；藉由模具之洩液閥移除基板上方溶膠液體，並使基板與模具的微結構之間保留有預定容積的溶膠液體；固化溶膠液體，使其緊固於基板與模具相鄰的表面，並形成結構層；以及沿垂直方向使模具與固化後之結構層分離，此製造方法可確保基板製造時不易受損，同時降低製作成本且提高產能。
显示于类别:	[機械與機電工程學系暨研究所] 專利

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