繞射光學元件、繞射光學元件陣列，及其製作方法

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题名:	繞射光學元件、繞射光學元件陣列，及其製作方法
其它题名:	DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS, DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS ARRAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
作者:	趙崇禮;馬廣仁;周文成
贡献者:	淡江大學機械與機電工程學系
日期:	2014-03
上传时间:	2015-03-03 02:27:04 (UTC+8)
摘要:	本發明提供一種繞射光學元件及繞射光學元件陣列的製作方法，以及經由上述方法所製作之繞射光學元件及元件陣列。繞射光學元件的製作方法，包括提供基材，基材具有第一硬度與第一厚度，並於基材上形成光阻層，光阻層具有均勻的第一高度，接著提供表面形成有繞射光學元件公圖案的模具，在公圖案的外部周圍形成有複數個支腳，之後以模具對光阻層進行壓印，藉此在光阻層的表面形成對應於該公圖案的母圖案，接著硬化光阻層然後移除模具，再蝕刻光阻層與基材，藉此形成繞射光學元件的公圖案於基材的上表面。
显示于类别:	[機械與機電工程學系暨研究所] 專利

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